| dc.creator | García,Leandro | |
| dc.creator | Hernández,Julián | |
| dc.creator | Mendoza,Claudia O | |
| dc.creator | Garnica,María G | |
| dc.date | 2009-01-01 | |
| dc.date.accessioned | 2019-04-24T21:27:07Z | |
| dc.date.available | 2019-04-24T21:27:07Z | |
| dc.identifier | https://scielo.conicyt.cl/scielo.php?script=sci_arttext&pid=S0718-07642009000100004 | |
| dc.identifier.uri | http://revistaschilenas.uchile.cl/handle/2250/58148 | |
| dc.description | Recubrimientos de TiSiNO fueron fabricados por la técnica de erosión catódica reactiva por corriente directa sobre sustratos de acero y silicio, utilizando un blanco de Ti y una pequeña placa de Si sobre una atmósfera reactiva de nitrógeno, oxigeno y argón. Usando el método de Warren-Averbach se analizaron los cambios estructurales de las muestras en función de la variación del flujo de nitrógeno. Cálculos estequiométricos, obtenidos de la técnica de espectroscopia de energía dispersada y corroborados por espectroscopia de descarga luminiscente, muestran que los recubrimientos se encuentran en la región de solución sólida de TiSi xN(Oy) y SiNxOy, dominando la fase del oxinitruro de titanio. La muestra fabricada sobre sustratos de acero y silicio a un flujo de nitrógeno de 3 sscm, presentó el valor de dureza más alto y el valor de resistividad más bajo, respectivamente, debido a su estructura, orientación cristalina preferencial y fases cristalinas presentes en ella. | |
| dc.format | text/html | |
| dc.language | es | |
| dc.publisher | Centro de Información Tecnológica | |
| dc.relation | 10.4067/S0718-07642009000100004 | |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | |
| dc.source | Información tecnológica v.20 n.1 2009 | |
| dc.subject | recubrimientos TiSiNO | |
| dc.subject | dureza | |
| dc.subject | resistividad | |
| dc.subject | difracción de rayos x | |
| dc.subject | erosión catódica | |
| dc.title | Influencia del Flujo de Nitrógeno en la Estructura, Dureza y Resistividad de Recubrimientos de TiSiNO | |
